该消息人士表示，一家鲜为人知的中国国有企业——上海爱晟纳电子科技集团有限公司（以下简称爱晟纳）——在吸纳了国内顶尖光刻初创企业的团队后，正主导这一生产工作。

该进展标志着北京在实现全国半导体自给自足这一国家战略，也是习近平主席高度重视的优先事项之一方面取得了重大进展，但并不会对荷兰芯片设备巨头阿斯麦（ASML）构成直接的商业威胁。

此前，科技媒体《信息报》周一率先报道了中国开发该设备的消息，指出上海一家身份未公开的国有背景企业已开始制造沉浸式深紫外光刻机，并计划在今年生产约5台以供交付，在2027年生产约20台。

消息人士称，爱晟纳的沉浸式深紫外光刻机预计还需要进一步测试，且其性能与荷兰同行的竞争机型相比仍有很大差距。然而，一旦成功部署，若西方政府进一步限制外国光刻设备对华出口或在华相关维护服务，这将为中国芯片制造商提供一个替代的设备来源。

《信息报》援引两位知情人士报导，这些国产沉浸式深紫外光刻机预计将于今年交付给中国领先的芯片制造商，包括中芯国际、华虹半导体以及长鑫存储。

沉浸式深紫外光刻机利用投影镜头与硅片之间的水层，能够印制出比传统干式系统更精细的电路图案。这类设备不仅用于生产多种类型的芯片，还可以通过多重曝光技术——即对同一层进行反复曝光——来制造更先进的半导体。

阿斯麦未立即回应置评请求。中芯国际、华虹半导体及长鑫存储也未回应置评请求。受《信息报》相关报道影响，阿斯麦股价周一下跌了8%。

根据企业登记信息，爱晟纳成立于2023年8月，注册资本为70.01亿元人民币，法定代表人为丁功明。该公司由上海睿赛威尚企业发展有限公司和上海电气控股集团有限公司共同持股；经营范围包括半导体器件专用设备制造、半导体器件专用设备销售、电子专用设备制造、电子专用设备销售等。

外界对这家公司知之甚少；爱晟纳既没有官网，也未曾公开披露过任何运营信息。据知情人士透露，该公司已吸纳了来自光刻技术初创企业上海宇量昇科技有限公司——后者去年已开始测试一台深紫外光刻机原型机——以及上海微电子装备（集团）股份有限公司（SMEE）的团队。

上海微电子装备和宇量昇——华为投资的设备制造商深圳市新凯来技术有限公司（SiCarrier）的关联公司——深度参与了中方的半导体自给自足计划。公司和招聘记录显示，爱晟纳和宇量昇在上海共用一个办公地址。爱晟纳、其股东上海微电子装备和宇量昇均未回应置评请求。

美国已禁止中国购买阿斯麦最先进的极紫外（EUV）光刻机，而荷兰的出口管制措施也限制了中方获取部分先进深紫外光刻机的途径。

尽管中方正致力于实现技术自给自足，但中国市场依然是阿斯麦重要的营收支柱，占该荷兰巨头上半年净销售额的约16%。虽然无法购得先进的极紫外光刻机，但中国芯片制造商仍在大量采购技术水平相对较低的深紫外光刻机。

路透社去年12月援引消息人士报导称，中国已成功制造出一台极紫外光刻机原型机——这是生产全球最先进芯片的关键设备——不过，该技术距离投入量产尚需数年时间。

尽管市场有所反应，但分析师认为，这一消息不太可能影响阿斯麦的中期盈利走势。摩根大通分析师在周二的一份报告中写道：“生产少量浸没式深紫外光刻机，与生产适用于大规模制造的设备是两码事；后者更看重良率、套刻精度、产能以及在数千次晶圆加工过程中的可靠性”。